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項目介紹

mPCD用來測試硅片的有效少子壽命; cPCD用來測試樣品的體少子壽命。

微波光電導衰退法Microwave photoconductivity decay)測試少子壽命，主要包括激光注入產(chǎn)生電子-空穴對和微波探測信號的變化這兩個過程。

904mm 的激光注入(對于硅，注入深度大約為30um )產(chǎn)生電子-空穴對，導致樣品電導率的增加，當撤去外界光注入時，電導率隨時間指數(shù)衰減，

這一趨勢間接反映少數(shù)載流子的衰減趨勢，從而通過微波探測電導率隨時間變化的趨勢就可以得到少數(shù)載流子的壽命。

樣品要求

（1）mPCD所能測試的樣品，從 8英寸到一般切割的小樣品(1cm×1cm）都可以。一般機械拋光，化學拋光或研磨面的樣品都可以測試，但樣品必須是輕摻，重摻（電阻率小于0.1Ωcm）和重摻襯底的外延片都不行。

（2）CPCD所能測試的樣品限于3，4，6，8英寸。一般硅片表面要形成自然氧化層或生長一層帶電荷的薄膜。

項目案列

常見問題

測試周期？

一般到樣3-5個工作日

學術(shù)文章

微波光電導衰減壽命測試儀的突破性應用

2024-06-28

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